专利名称：一种能分辨光子数的超导纳米线单光子探测器及制备方法
专利国别：中国
专利号：201110197620.5
法律状态：授权
发明人：成日盛，刘建设，李铁夫，陈炜
申请人：清华大学
地址：100084 北京市海淀区双清路36号
申请日期：2011-07-14
授权日期：2012-11-14
摘要：
一种能分辨光子数的超导纳米线单光子探测器，由N个串联的超导纳米线以及相应的N个旁路电阻组成，每个旁路电阻设置在每两个相邻的超导纳米线之间，超导纳米线为氮化铌或者是氮化铌钛等超导材料制成，旁路电阻由金或者是钛等金属薄膜制成，本发明还提供了该超导纳米线单光子探测器的制备方法，制得的超导纳米线单光子探测器量子效率高、计数率高、暗计数低、带有光子数分辨能力，并且不受漏电流影响。
专利证书：
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